宽视场显微镜头:效率提升首选+科勒照明成像

时间：2025-12-05

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在半导体制造领域，AOI设备面临着两种挑战，一是晶圆尺寸不断扩大，如何在尽可能短的时间内完成整个晶圆的检测？二是芯片制造工艺的提升，使得硅片缺陷密度与缺陷尺寸越来越小，达到特定良品率所需的检测精度要求越来越高。

宽视场显微镜头.png

如何让AOI设备既检得快，又检得准？

一个有效的方法是让充当AOI设备眼睛的显微成像系统，每次成像的视野尽可能大，图像解析力尽可能高。对此，我们的宽视场高精度的物镜&镜筒，搭配合适的科勒照明是一个优化的可选解决方案。

提升效率

宽视场高分辨率镜头组合

延续模块式的一阶设计理念，我们推出了宽视场镜头+高分辨率物镜的显微组合：

宽视场显微镜头1.jpg

大靶面镜筒

打破常规高倍镜头适配传感器尺寸的限制，将适配靶面从常规的11mm提升至37mm一次性大幅提升视野：

超清宽视场物镜

我们推荐对成像效率有更高要求的客户，使用超清宽视场物镜。该系列各个倍数物镜均为高NA值设计：

如6x HR物镜的NA值0.3，高于常规10x物镜的NA值0.28。这意味着使用6x物镜，就能在一个更大的视野下实现不逊色于10x的解析效果：

大靶面镜筒+10x超清宽视场物镜（左）VS 大靶面镜筒+10x 常规物镜（右）：

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特征点的成像对比：大靶面镜筒+10x超清宽视场物镜（左），在确保解析度的情况下能一次性成像更大的区域，帮助半导体成像设备减少拍图次数和时间，提高检测效率。

提升图像质量

精简型科勒照明模块

面对越来越严苛的缺陷检测要求，我们需要为应用选择最合适的照明方式，从而得到照度均匀的图像。

在显微成像应用中，照明方式可以分为临界照明和科勒照明。

临界照明是指直接将光源经聚光镜成像（传输）至样品平面的照明方式。在宽视场显微应用中，这种直接传输的方式很容易导致样品平面照度不均匀, 呈现为中间亮四周黑，或者眩光：

针对这种情况，我们推荐用户使用科勒照明模块。

这是一种光源经集光镜与光阑后，聚焦在聚光镜的物方焦点上，最后通过物镜转换为平行光束均匀照亮物面的成像方式：

我们可为用户提供模组式精简化科勒照明模块，包含：多个规格的集光聚光模组以及可程控高亮LED光源：

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宽视场显微成像系统结合模组式精简化科勒照明模块，成像案例：

宽视场显微镜头8.png

我们在实验室配备了上述显微-宽场照明成像方案的测试样品，如需进行测试或了解更多视野及解析度搭配详情，请在后台留言与我们联系。

Seeing is Believing：

我们非常乐意于为用户提供各个倍率的变倍/宽视场定倍显微镜头、激光自动聚焦显微成像系统、工业相机、及各类标准物镜、光源、支架样品测试：

欢迎有相关应用需求的用户与我们联系，进行镜头打光测试，探讨并构建最优化的光学成像方案。

文章转自Navitar官方微信公众号。