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一“ 聚”两得,模块式双视显微镜

时间:2024-10-08 点击次数:204
在针对半导体芯片、微孔板(Well-plate)、薄膜晶体管(TFT)、细胞微孔板(Well-plate)等目标物进行检测时,这些目标的中心和边缘呈规律分布,我们有时既要对中心微小区域进行观察/检测,也要对外围的大区域进行观察/检测:

中心-外围边缘的检测场景

检测半导体芯片(晶片)封装工艺时,可能既需要对位于中心的芯片线路进行检测,同时也需要对芯片外围的引线进行检测;

QQ截图20241008150207.png

精密定位/对位(alignment)时,视野太小,不好找准位置,这时如果光学系统能同时用小倍数观察大视野,快速找到位置点,同时又能用高倍数对定位标记(alignment mark) 观察小视野,就能提高定位精度。

QQ截图20241008150207.png

生物成像的某些应用中,可能需要用大视野针对某个区域进行成像,同时需要利用大倍数对某个小区域内的细节进行分析。

QQ截图20241008150207.png

像上述这些,需要在同一个样品上实现大视野和小视野同时成像的应用,传统的解决方案是通过切换镜头的大小倍率,并在切换倍率后,重新聚焦来实现大视野和小视野的成像。 
QQ截图20241008150315.png


有没有能同时获得大小两个视野,两种放大倍数,而且无需再次聚焦的镜头?

模块式 双视显微镜头



我们为上述应用设计和制造了多种形态的分光装置,将其集成到模块式显微成像光路中的不同位置,即可组成多种结构的双光路,双视野的成像系统:

QQ截图20241008150404.png

双视系统可以两个光路都是同样的倍数,不同波段;也可以两个光路是不同倍数,不同视野;或者两个光路在变倍/定倍、手动/电动之间任意选择。如果需要,也可搭建成多光路,多视野的成像系统。

该系统最重要的一个特点就是无需多次聚焦即可对某个区域实现不同倍数或者不同波段的成像。 

QQ截图20241008150446.png

在同一个双视系统中,可根据具体的成像需求,集成
  • 可见光VIS,可见光-近红外(VIS-NIR),短波红外(SWIR) 多种增透镀膜镜筒;
  • 复消色差,消像差,无限校正光路设计,0.55x, 0.8x, 1x, 1.1x, 1.6x, 2x 定倍镜筒;

  • 或0.64x~ 4.5x、0.58x~7x 、0.7x~4.5x连续变倍镜筒,手动和自动变倍可选;

  • 可根据应用需要,搭配不同品牌、不同倍数的物镜(2x、4x、 5x、 6x、 10x、 20x、 50x);

  • 可选1/2” 到32mm或以上尺寸相机传感器

只需要一次聚焦,即可获得同一中心区域的双波段/双视野的两个图像,大视野针对全局成像,小视野表征关键细节:

QQ截图20241008150523.png

除以上正置、平行、转角双视模块外,还可以根据现场的安装和应用环境对镜头结构进行调整,比如:采取倒置,或其他安装形,或在光路中加入偏光、滤片转轮、自动聚焦机构等功能模块等等。


文章转自Navitar官方微信公众号。

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